二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9099742 待售
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ID: 9099742
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
CVD System, 12"
System configuration:
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC
ATM Robot & controller:
BROOKS RELIANCE 8
Type: Friction
Controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
ULPA Filter
(3) Pod loader: Fixload 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
Loadlock configuration:
(2) ATM Door valves: VAT
(2) Chamber slit valves: SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor (Both)
Vent / Purge valve
L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N--2
PM Configuration:
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX2500
LF Fixed matcher: X
HF Auto matcher 27-279938-00
Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source:
Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pendulum valve: VAT / PM7 Controller X
Pedestal: Standard type
Shower head
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC:
BROOKS SLA7950S
MFC 2 N2 10000
MFC C Ar 10000
MFC 5 He 20000
MFC 1 SiH4 1500
MFC B N2 20000
MFC 6 NH3 20000
MFC 9 NF3 10000
MFC 8 O2 30000
MFC A N2O (L) 1500
MFC 7 N2O (H) 25000
Arm position detector
Gauge monitoring kit
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn#1 pin lift type: Servo motor
Missing parts:
PM7 Controller
Gauge tree
Power: 208 VAC, 3 Phase
Main 150A
Full load 100A
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款用于微加工工艺的高性能蚀刻器和asher工具。它是一个多室系统，有八个独立的室能够同时执行多个过程步骤。NOVELLUS Vector Express是一个蚀刻介电、金属、光刻胶、低k材料，以及缝隙填充和清洁应用的平台。该蚀刻器具有较高的等离子体源功率（PSP） 1360W并行运行模式。这种高功率确保了高速蚀刻工艺的成功实现，并通过高通量技术满足了微加工的需要。此外，高PSP有利于蚀刻敏感材料和难以蚀刻薄膜。此外，LAM RESEARCH Vector Express适用于由传统材料和先进材料组成的多层堆栈的蚀刻。Vector Express通过其高效的冷却系统进一步增强了灵活性,该系统允许其腔室在0-110°C范围内运行。这样可以确保几乎所有材料的蚀刻,而不会损坏或降解基材。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector Express的温控辊和卡盘提供均匀、精确的预热基板，提供均匀蚀刻而不会出现图样失真。它在5秒内具有± 20°C的快速晶圆气候变化，可以减少缺陷并提高电流产量。而且它的热控精度也极佳，稳定率优于0.1°C。这使得NOVELLUS Vector Express成为成功蚀刻精美图桉和提高产量的理想选择。LAM RESEARCH Vector Express也拥有高度的过程控制。其基于过程的界面被设计为让用户控制所有蚀刻参数，如等离子体强度、气流、射频频率、压力和冷却机制。所有这些设置都可以从界面上轻松获得,并且可以进行监控和调整以轻松微调蚀刻过程。总之，Vector Express是一种顶级的蚀刻器/asher工具，它为各种微加工材料的蚀刻提供了无与伦比的灵活性。由于其高效的温度控制和较高的PSP功能,它非常适合蚀刻高长宽比特征和处理复杂的微观模式。此外，其易于使用的基于过程的界面便于控制和监测所有蚀刻参数。所有这些功能使LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express成为那些希望执行高效、精确和高质量蚀刻和灰化操作的用户的绝佳选择。
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