二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9169612 待售
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ID: 9169612
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
CVD System, 12"
System configuration:
Front UI
Signal tower: Broken
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC#0,1,2,3 HDSIOC
ATM Robot & controller:
BROOKS RELIANCE 8
Friction type
Controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
ULPA Filter
(3) Pod loaders: Fixload 6M
LL / FE Interface PCB: 03-283968-00
Loadlock configuration:
(2) ATM Door valves: VAT
(2) Chamber slit valves: SMC
L/L Manometer: (10) Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM Type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor (Both)
Vent / Purge valve
L/L On-board pump: KAWASAKI 27-283364-00 NV60N-2
PM Configuration:
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX2500
HF Auto matcher 27-279938-00
Navigator: 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source:
Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pendulum valve: VAT / PM7 controller X
Pedestal: Standard type
Shower head
Endpoint detector: IREPD - MKS
10 Torr process gauge
Vacuum switch
20 Torr switch
MFC:
BROOKS SLA7950S
N2A
N2B
Ar
He
SiH4
NH3
NF3
O2
N2O(L)
N2O(H)
Arm position detector
Gauge monitoring kit
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Right L/L top cooling
Stn#1 pin lift type: Servo motor
Missing parts:
PM7 Controller
Signal tower: Broken
Power:
208 VAC, 3 Phase
Main 150 A
Full load 100 A
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高性能、高效的蚀刻设备，用于半导体及相关行业。设计为在高温环境下，对石英晶片、硅基板等基板以及其他导电和非导电材料进行高精度、可靠、快速的蚀刻。NOVELLUS Vector Express能够蚀刻高达1：25的长宽比,并提供高达1.5晶圆/分钟的高吞吐量。LAM RESEARCH Vector Express利用多个高性能蚀刻室，每个室都有一个独立控制的工艺室和专用抽水系统。该系统旨在减少沉积时间，最大限度地减少晶圆损伤，提供卓越的工艺均匀性。该单元还提供了对蚀刻过程的微调控制,从而可以精确控制关键特征。在每个蚀刻室中，机器采用多区域温度和压力控制，在每个室中创造一个一致的环境。该工具具有集成的加热和冷却功能,可实现高可靠性蚀刻。此外，蚀刻室利用专用气体溷合资产，精确地将氟基反应性气体（例如SF6、NF3和CF4）注入蚀刻室，并进行精确和控制。Vector Express还采用了高级腔室阻抗控制（CIC）模型，该模型提供了一个均匀的等离子体，以提高蚀刻性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express利用先进的用户友好和直观的图形界面,便于控制和程序开发。该设备还允许与所有标准蚀刻控制系统无缝集成,以实现最大的灵活性和生产率。它设计用于最小维护和正常运行时间,并通过SEMI安全标准认证,以实现最大的操作员安全性。NOVELLUS Vector Express能够在多种材料和应用中产生出色的蚀刻质量和性能，使其成为大容量蚀刻应用的可靠高效选择。它是一个快速且经济高效的解决方桉,提供卓越的可靠性、效率和统一性。
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