二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9215207 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款蚀刻器/asher设备，专为大容量通量和高密度模式处理而设计。NOVELLUS Vector Express具有模块化体系结构,可同时支持全区域和部分区域模式,提供高度的定制和灵活性。它旨在根据系统的配置,简化和方便地调整工艺配方。LAM RESEARCH Vector Express具有大型中央处理单元、内存通道阵列和高精度直流电机驱动的Y轴分级单元。Y轴转移机允许晶片在整个过程中精确移动,并能够在过程区域内的任何位置移动晶片。该工具还包括高速计算机接口，允许从远程位置监视和控制进程。Vector Express能够处理具有高密度模式分辨率的450毫米晶圆。它还具有高精度的平面化控制资产以及高精度的视频检查系统。该型号的众多传感器提供实时监视和控制功能,使设备能够以最低的停机时间和最高的效率达到高吞吐量水平。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express集成了一套综合的软件工具和软件驱动的过程控制，如CDS（计算机定向调度）和SLE（软件Led效率）。这些软件工具使客户能够针对其生产需求优化系统,并将NOVELLUS Vector Express集成到其现有生产环境中。该单元能够执行各种蚀刻和灰化工艺配方。这些配方可以针对各种蚀刻比例和基材保护要求进行优化。此外,LAM RESEARCH Vector Express允许客户开发定制的蚀刻工艺以满足特定的应用。该机器的蚀刻和灰化工艺旨在在质量和可持续性方面达到最高的行业标准。Vector Express AEC-Q100经过认证,表明其可靠性。该工具还符合环境保护署规定的挥发性有机化合物排放标准。总体而言,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是需要高速工艺吞吐量、高密度模式分辨率和质量、可定制配方的客户的理想蚀刻器/粉碎器。它旨在提供精确可靠的蚀刻和灰化过程,同时减少停机时间并提高总体运行效率。