二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9235816 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先进的蚀刻器/asher设备,用于创建具有复杂布局的精细图案化曲面。它具有高分辨率的XY级，用于晶片的精确对准，并配有直接到盘式真空卡盘，用于优化晶片的处理和定位。该系统有多种工艺选择，使生产具有灵活性。它专为高批量生产而设计,具有快速、准确的处理速率,可提供精确的可重复性,以实现多次运行的一致性。NOVELLUS Vector Express附带了一系列可重复过程的工具和功能,例如高度精确的5轴线性驱动级、大型8英寸电子光束源以及用于全过程管理的内置配方管理器。它还配备了全套自动化智能清洁剂，如喷雾就地清洁剂和集成负载锁，以便可靠的晶圆处理。LAM RESEARCH Vector Express具有精确、灵活、可控和可重复的工艺,是蚀刻/刻蚀高密度布局的理想选择。该单元还设计用于兼容最新一代的亚微米技术，并带有标准的多区域扫描无缺陷操作。Vector Express采用低维护、高效的布局,易于操作和维护,并与其他机器轻松集成,以实现无缝生产环境。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express也有一系列安全功能来保护其操作员，包括综合气体泄漏检测机、密闭空间监控和通风工具。它还具有远程控制功能,以便操作员可以远程监视资产操作。凭借所有这些功能,NOVELLUS Vector Express是一种可靠且安全的生产线蚀刻/灰化解决方桉。