二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9251477 待售

LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是业界领先的Etcher/Asher，用于高精度半导体器件制造。该机利用先进技术，实现了各种器件层的高通量和精确蚀刻。NOVELLUS Vector Express配备了可信的Samco等离子体源,可优化速度和可靠性,从而提供过程稳定性,以生产缺陷最小的高产晶片。其专有的DUPMAS和SAMCOFIT算法也有助于建立稳定的过程。LAM RESEARCH Vector Express通过严格控制功率、压力和温度等过程变量,提供了快速的蚀刻速率和精确的晶圆图样。其先进的IXE（离子交换蚀刻）技术还通过提供更广泛的动态范围来控制蚀刻均匀性来实现高蚀刻精度,即使在高长宽比图样特征上也是如此。此外，该系统还提供高效的晶片加载和分类功能。Vector Express包括一个高密度的感应耦合等离子体（ICP）源，提供蚀刻速率、蚀刻各向异性、蚀刻选择性、晶圆均匀性、深度均匀性和工艺重复性的最佳组合。该系统配有一个紧密控制的卡盘头，在蚀刻过程中将晶片固定到位，防止任何背面污染。ICP源可以平稳地提高到更高的功率,从而进一步缩短过程时间。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express可以整合一系列表面处理，包括沉积、蚀刻、剥离和图样。它还提供高级功能,例如用于晶圆传输的FOUP控制功能、从FOUP到处理的产品可追踪性以及自动堆迭。它的用户友好界面提供了几种菜单选项和设置，可以根据任何应用程序的需求进行定制。综上所述,LAMNOVELLUS Vector Express/Asher是一款令人印象深刻的机器,提供各种设备层的高吞吐量和精密蚀刻。它采用先进的IXE技术,能够生产出缺陷最小的优秀晶片,其集成的等离子体源支持快速蚀刻速率和极其严格的蚀刻均匀性控制。它非常适合生产和开发应用。