二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9270599 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一种最先进的蚀刻器/asher，可以在基板上沉积和蚀刻不同厚度的层。这种创新的蚀刻器/asher利用激光激活的宏机制（LAMM）使用户能够对图层组成进行超精确的编辑。LAMM还大大缩短了蚀刻和沉积层所需的周期时间。NOVELLUS Vector Express适用于需要单层或多层不同材料的应用，能够以极高的精度沉积或蚀刻铝、多晶硅、二氧化硅、氮化硅和钨材料。蚀刻器/asher的最大基板尺寸为380x380mm，可以蚀刻到0.5µm，在薄层上质量很高。LAM RESEARCH Vector Express具有独特的工具设计,可确保一致且可重复的蚀刻结果。该设备配备了两个与蚀刻机平台同步的预对准激光器。这允许跨蚀刻区域的超平滑等离子体轮廓,从而控制材料的蚀刻速率。Vector Express还具有集成的Adaptive Scanning,可实现低功耗优化和精确蚀刻/沉积层。由于LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express的高精度和重复性，它可以用于一系列苛刻的蚀刻/沉积过程。高效，可处理厚达200毫米的基材。蚀刻器具有大批量生产能力，最大蚀刻速率高达每小时300晶圆。此外,NOVELLUS Vector Express通过其易于使用的用户界面和快速、易于更换的部件,实现了最低限度的维护。这种最先进的蚀刻器/asher是任何蚀刻/沉积过程的完美解决方桉。LAM RESEARCH Vector Express以其高精度、重复性和效率，适合一系列应用，是任何大批量生产需求的理想选择。