二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9284871 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高级蚀刻器/asher,专为处理一系列具有挑战性的材料集而设计。利用先进的多站等离子体化学蚀刻技术，NOVELLUS Vector Express能够深入蚀刻到电介质、金属和其他材料堆栈中。该系统具有较高的吞吐率和卓越的过程控制。它的温度区功能和超稳定的专有波纹管系统缩短了周期时间,并为所有处理过的物料堆栈提供了统一的蚀刻解决方桉,从而实现了紧密驱动的过程和可重复的结果,使结构变得越来越复杂。LAM RESEARCH Vector Express设有两个室和最多三个站，可配置用于蚀刻、沉积或退火过程。它为高端蚀刻功能提供了高达600瓦的等离子体功率范围,并可根据低端蚀刻需求进行拨号。此外,Vector Express还提供了许多高级功能,以提高吞吐量和优化性能。其中包括内部气体升力送料机、激光切断、视距FRC、可调蚀刻速率等等。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express还提供了高级软件控制，并且与大多数软件包兼容。它具有内置的数据日志记录功能,允许客户跟踪蚀刻周期中的每个设定点和过程步骤。这些数据可用于进一步优化和完善流程以满足特定要求。最后，NOVELLUS Vector Express也是低成本拥有与营运。它拥有一个强大的设计，这有助于确保它将在未来几年提供可靠的结果。它是高度模块化的体系结构,允许用户添加多个模块和自定义,从而满足他们的需求。总而言之，LAM RESEARCH Vector Express是一款高级蚀刻器/asher，旨在提供卓越的蚀刻、沉积和退火工艺能力。它可配置为适合各种材料堆栈,其高级功能使客户能够可靠地从其最具挑战性的材料中获得可重复的结果。此蚀刻系统的低成本所有权和与大量软件包的兼容性使其成为那些希望加快周期时间和提高流程效率的用户的理想选择。