二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294235 待售

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express
ID: 9294235
晶圆大小: 12"
PECVD System, 12".
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先进的蚀刻/asher设备,用于半导体器件制造。它旨在实现半导体晶圆和基板上圆形和直线特征的高精度阵列。NOVELLUS Vector Express是同类系统中最先进的一款,因其能够以速度和精确度制作高端图样而受到业内专家的高度评价。LAM RESEARCH Vector Express设有闭环控制单元,用于监测调整等离子流量、流量方向、电压、蚀刻速率、气体浓度等参数。它还具有高分辨率的无掩码光刻机,用于创建高度精确的直线和水平特征。该工具能够实现低至1微米的特征大小,并且能够以高速率进行蚀刻,从而保持零不对齐,并确保最高精度。Vector Express旨在通过其密度优化功能降低总拥有成本。这一功能可实现大容量批量生产,减少资产中的车辆数量,从而提高产量和成本效益。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express还设计了高级安全功能,以保护操作员并显着降低发生事故的风险。最后,NOVELLUS Vector Express采用模块化设计,使模型具有灵活性和可扩展性。这样可以确保用户在需要时使用最新的组件和功能升级设备。LAM RESEARCH Vector Express也是高度可升级的,允许用户根据需要出租模块,从而保持低成本。因此,Vector Express是生产高质量、高产量、低成本半导体产品的理想系统。
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