二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294406 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款为半导体行业内的高通量处理而设计的蚀刻器/asher。NOVELLUS Vector Express是一款高性能、高速、多光束的设备，可用于各向异性蚀刻、各向异性蚀刻、深蚀刻等多种蚀刻沉积工艺。它利用多种操作模式对晶片进行快速、精确、有针对性的处理，包括可用于快速蚀刻或沉积材料的高通量处理模式。LAM RESEARCH Vector Express利用类激光光源确保其处理的均匀性和准确性。其光束通过数个光学元件进行处理，包括一个数字镜像装置（DMD）和一个空间光调制器（SLM）。DMD创建了产生激光般光束的光波的精确组合，而SLM则调制照明模式，使光束精确成型，以满足给定过程的特定需求。Vector Express还具有超高强度离子束（UHI-IB）系统,该系统可加速离子并将其引向图案化的基板。该装置能够通过生产更快、更精细、更精密的石膏而产生更好的蚀刻工艺。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express利用平铺蚀刻阵列对离子束的放置进行编程,以精确蚀刻特定的图样。这台机器非常适合刻蚀具有高质量和重复性的深层复杂图桉。NOVELLUS Vector Express广泛应用于半导体行业，因为它可以在使用最小化学材料的同时，以高精度和速度蚀刻复杂的图样。它能够快速产生精确的蚀刻图样，沉积具有优异保形性的材料，并在极低的热载荷下进行快速的处理。LAM RESEARCH Vector Express也与传统的蚀刻和沉积工艺完全兼容，允许研究人员使用相同的工具、设备和材料进行湿法或干法加工。最后,Vector Express对用户友好,需要最少的维护,这意味着它可以快速轻松地集成到现有的实验室或生产设置中。