二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9298589 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是NOVELLUS製造的多室蚀刻器/asher。它在半导体和电子工业以及研发应用中用于图样面膜和结构的精密蚀刻或灰化。它具有在直径不超过200毫米的大型单基板上进行传统蚀刻和新的灰化操作的能力。NOVELLUS Vector Express是一款先进的、全自动的生产蚀刻器/asher,具有多个处理室,可容纳各种样本量和配置。LAM RESEARCH Vector Express配备了业界领先的蚀刻和灰化源，结合了每种工艺的速度、精度和性价比。它具有低温蚀刻能力，可降低至25°C，具有低压操作和严密的工艺控制能力。Vector Express在设定点± 0.1°C内提供温度稳定性,其过程步骤为十分之一秒,并且具有飞行时间精度,可提供出色的过程重复性。它直观的用户界面使得编程既快速又容易，无论是远程的还是在机器上。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express率先将腔室隔离和快速热退火（RTA）结合在一起，提供单一蚀刻和灰化系统，可以处理广泛的工艺要求。它具有可扩展、可升级和高度灵活的配置,能够灵活应对不同的蚀刻难题。加工室可以根据工艺要求轻松快速地交换。该机具有微型发射器和高精度扫描功能，可以使蚀刻和灰化过程完全自动化。NOVELLUS Vector Express还设计用于在各种加固的制造环境中可靠运行,其控制系统旨在减少停机时间和维护成本。该机还符合所有最新的安全法规和标准，采用尖端技术提供可靠、低成本的操作和更长的使用寿命性能。LAM RESEARCH Vector Express是任何在蚀刻和灰化操作中寻求最高精度和可靠性的人的理想选择。