二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9314358 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款为半导体制造过程中的精确蚀刻控制而设计的蚀刻器/asher。它具有卓越的性能和工艺稳定性，具有高达每小时20万晶圆的高沉积速率，以及低排泄率的基板沉积。NOVELLUS Vector Express是一款具有高级过程控制软件的灵活、高速、全场蚀刻器/asher。高级软件功能允许为每个蚀刻运行设置精确的蚀刻条件,并确保可以在稳定的工艺条件下执行蚀刻操作。LAM RESEARCH Vector Express/Asher设计了一个自动晶片装卸系统，以减少体力劳动和确保最低限度的污染风险，以及气体分配网络，以提供最佳的化学种类/试剂稳定性。它能够蚀刻和灰化高长宽比结构，以及高分辨率特征，使用多种气体如氯、氟、六氟化硫和氧气。蚀刻器/asher符合最新的半导体行业标准,如SEMI P-12、P-17和P-25。Vector Express 蚀刻器/asher利用模块化、用户友好的软件界面来管理所有蚀刻/ashing操作。该软件提供了一个易于使用的环境,用于设置蚀刻参数（如过程持续时间、温度、功率级别和流率）,以及用于监视蚀刻/灰化操作的直观用户界面。软件还支持实时流速监控、流程历史记录存储和流程后分析工具。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express 蚀刻器/asher可用于各种蚀刻/灰化操作，如浅沟隔离（STI）蚀刻、深沟隔离（DTI）蚀刻、选择性氧化物蚀刻、晶片清洗和金属沉积。蚀刻器/asher设计有嵌入式视觉系统,允许操作员在蚀刻/ashing操作之前以视觉方式验证特征结构。此外，蚀刻器/asher采用全场等离子体蚀刻技术设计，无论晶片上的特征大小或位置如何，它都能在整个晶片上提供均匀的蚀刻深度。NOVELLUS Vector Express 蚀刻器/asher是一款功能强大、灵活的半导体制造商机器。它提供卓越的蚀刻/灰化能力、出色的工艺控制和降低污染风险,使其成为高级半导体工艺流程中蚀刻/灰化操作的绝佳选择。