二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9362218 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先进的蚀刻器/asher，能够对半导体结构进行精确蚀刻和灰化。NOVELLUS Vector Express使用先进技术实现优于传统蚀刻工艺快十倍的优越蚀刻速率。LAM RESEARCH Vector Express是一款完全集成且经济实惠的蚀刻和灰化设备,旨在实现半导体制造的最大灵活性和生产率。Vector Express强大的控制系统提供高吞吐量,最大处理速度可达25厘米/分钟。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express利用其4轴运动单元,同时沿X、Y和Z轴移动,以及辅助旋转轴,能够精确控制过程。NOVELLUS Vector Express使用专利的非接触自动跟踪机制,可以在单个设置中对大型晶片执行蚀刻和灰化操作。LAM RESEARCH Vector Express的核心技术是其直流等离子体源，具有较高的蚀刻速率和卓越的均匀性。直流等离子体源的拥有成本较低，因为它们使用的气体较少，需要的消耗性部件极少，维护也极低。直流等离子体源还支持多种气体，以便为特定应用进行蚀刻。此外，Vector Express能够使用其先进的等离子体源提供无与伦比的蚀刻深度均匀性，该等离子体源能够严格控制晶圆上千分之一毫米范围内的蚀刻深度。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express还配置了高级流程控制功能，旨在一键提供精确的流程控制。该机器提供高级软件工具,如其高级自动蚀刻控制（AAEC）和低压蚀刻（LTPe）,使用户能够在最短的设置时间内实现高流程产量。此外,NOVELLUS Vector Express还采用超长排气通风室设计,可提供可靠高效的化学反应蚀刻废气和加工室内的灰烬气体废气。最后,LAM RESEARCH Vector Express是一款高级蚀刻器/asher,旨在提供最大的生产效率和工艺性能。Vector Express通过其获得专利的技术和精密的工艺控制功能,以最大的吞吐量实现了高质量的蚀刻和灰化。