二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9372786 待售

来自NOVELLUS的LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一个高级蚀刻器/asher平台,专为精密应用而设计,需要精确的微结构和基板操作。它具有一个标准的绝缘真空室，以减少微粒渗透，一个集成的气体和化学输送设备，以及先进的扫描和焦点离子束（FIB）能力。NOVELLUS Vector Express还设有独特的基板阶梯式表面软件，自动创建一系列浅通道，用于蚀刻没有紫外线暴露的狭窄路径。LAM RESEARCH Vector Express还包括激光/光束位置反馈系统、高级定位机制、自动基片对准系统（SWAS）和受控环境空气冷却单元等多种高级工具和监控功能。其集成气体输送机允许用户轻松调整化学成分、压力、温度等参数，以达到最佳蚀刻条件。Vector Express由于其离子束光学器件提供了无与伦比的精确度和精确度水平，使得复杂图案的蚀刻成为可能。此外，其先进的工艺控制工具自动校准并保持最佳蚀刻参数。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express还具有直观的用户界面,使用户能够轻松访问各种工具和功能,如基板选择、自动和手动对齐以及参数选择。NOVELLUS Vector Express的性能因其多平面气流资产、快速的介电护环去层工艺以及增强的湿蚀刻技术而得到进一步提升。该模型还包括一个可编程的喷嘴头阵列，允许用户一次访问多种蚀刻技术。最后，LAM RESEARCH Vector Express还包括了一些蚀刻后数据分析和监测的功能，允许加强过程控制和缩短检查时间。