二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9378305 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款通用蚀刻器/asher，非常适合中高批量生产各种半导体器件结构。NOVELLUS Vector Express具有坚固的薄膜沉积设备和独特的激光阵列工艺,提供卓越的步长覆盖和精确的线路保真度。该系统与所有主要的抗蚀剂化学系统兼容，实现等离子体蚀刻和先进的光致抗蚀剂去除选项。LAM RESEARCH Vector Express还采用了一种新颖的过程控制器，为用户提供了一套全面的过程监控功能。Vector Express专为高产量生产而打造，狭隘地专注于电容器、晶体管和其他先进的器件结构。该装置包括一个200毫米的搬运平台，能够高效率地装载、运输和卸载晶片，以及全方位的工艺配方。配方生成器允许用户快速开发定制配方，并为流程优化提供了强大的平台。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express的设计旨在最大限度地提高吞吐量和工艺产量,同时最大限度地减少周期时间。它具有高精度、高通量的腔室，用于特殊蚀刻应用和批量蚀刻工艺。该机器的设计在批量和群集配置方面都具有卓越的性能。该工具采用了独特的激光制图工艺，消除了传统的光刻胶去除技术，并以最小的线宽变化提供了精确的蚀刻图桉。NOVELLUS Vector Express还融合了两种不同类型的迹线墨盒，提供了最佳的迹线间距、线条精度和图桉保真度。LAM RESEARCH Vector Express采用多种硬件和软件工具,可实现最大程度的控制和自动化。它包括一个功能强大的配方生成器、一个集成的过程参数控制模块以及一个高级数据记录和分析包，所有这些都允许用户管理和优化蚀刻过程。Vector Express经认证可用于各种洁净室环境，包括ISO 14644-1 Class 5和Class 7。其全面的设计和严格的测试确保了高性能、稳定的生产和提高的可靠性,使其非常适合商业和研究级应用。