二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9390434 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款用于半导体加工的多室、最先进的批量蚀刻器/asher设备。一种全自动批处理过程,能够同时运行任意数量的介质机器周期,从而实现高吞吐量和准确性。该系统包括三个具有计算机控制操作的独立腔室、定制腔室压力控制以及一个用于微调功率的高功率、变频射频发生器。NOVELLUS Vector Express实现合作蚀刻，这是一个创新的过程，其中一个蚀刻室交替向晶片提供惰性氮（用于蚀刻）或活性氧（用于清洁）。该单元包括多种蚀刻和清洁工具，包括反应性离子蚀刻（RIE）技术、嵌入氧气等离子体源的原位清洗以及可编程的干蚀刻工艺。这样可以去除不需要的材料层，并以极其精确的方式沉积所需的导体。LAM RESEARCH Vector Express的高精度运动控制有助于确保准确的过程重复性。这得到机器高级数据处理功能的支持,这些功能提供对过程的实时分析和反馈,使操作员能够优化和控制蚀刻或灰化过程。该工具还可用于晶圆升降机等需要频繁清洗的半导体设备的灰化。与使用溶剂进行手动清洗相比,Ashing可以实现更多的控制过程,因为它可以精确地清除有害的残留物,而不会造成组件损坏的风险。为了为用户提供最佳安全,Vector Express配备了额外的监控模块,以检查是否有危险气体泄漏或其他不安全的情况。最后，作为同类产品中最环保的蚀刻器，资产有一个集成的排气模型，以确保任何有害气体得到安全管理和过滤。