二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9401497 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款最先进的蚀刻器（又称asher），旨在将广泛的特征精确蚀刻到基板上。这台先进的机器提供了许多特性和优点,确保了高质量的精密蚀刻和先进的图样精度。NOVELLUS Vector Express具有高度的多功能性,因为它提供了具有多种基材材料的自动化工艺,具有从晶圆蚀刻和BARC涂层到离子铣削、离子植入和高分辨率3D成像等各种工艺功能。LAM RESEARCH Vector Express也因其先进的控制设备提供了提升的处理速度、无与伦比的精确度和出色的质量控制，使其非常适合广泛的应用领域。Vector Express先进的控制系统允许全方位的处理能力，如具有亚微米级精度和厚度控制的高速、高精度蚀刻，以及工艺优化、精密沉积和模式传递。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express还提供灵活性和多模式功能,其即时基板和配方选择可用于垂直和水平蚀刻。NOVELLUS Vector Express蚀刻装置通过其高科技控制机器、先进的温度和等离子体监控、快速简便的底物和配方加载以及通用的数据分析,提供了更高的效率、生产力和可靠性。此外,LAM RESEARCH Vector Express还提供高级安全功能,如动态过载保护和故障监控,以确保可靠的运行和长期的可靠性。Vector Express Etcher在高级蚀刻过程中提供卓越的性能和可靠性,提供高精度、高效率和生产率。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express先进的控制工具和功能使其成为从晶圆蚀刻到高分辨率3D成像等广泛应用的理想选择。