二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9412146 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高性能蚀刻器/asher，采用高级蚀刻和蚀刻工艺，实现高精度的图样和蚀刻处理。这款多功能设备将最新技术与LAM备受赞誉的NOVELLUS Vector Express蚀刻工艺相结合。LAM RESEARCH Vector Express旨在提高处理的统一性、准确性和吞吐量,并实现即使是最复杂的地形和几何形状的高精度制造。Vector Express结合了众多功能和设计元素,可提供最大的蚀刻性能和改进的用户体验,并具有诸如自动系统校准、高级薄膜沉积和蚀刻控制软件等尖端功能,以及突出的用户界面。这些功能使设备能够提供卓越的蚀刻一致性和统一性,并最大限度地减少刀具维护和工艺优化所需的时间。该机器还提供自动配方生成和设置功能,以及一整套集成过程监控工具。利用高级传感器和工艺诊断系统来检测和响应工艺参数,使LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express能够根据每个应用程序的最佳加工参数进行自我调整。这样可确保通过多种材料进行高精度蚀刻,从而无需昂贵的手动设置和校准。NOVELLUS Vector Express提供了一种既可靠又易于使用的集成晶圆处理工具。晶片处理设备的设计目的是通过提供密封和清洁的腔室、挡板排气流以及优化的基板和基座设计,最大程度地减少有害的污染。晶圆处理也由于LAM直观的SmartCart™模型而变得简单高效，这使得晶圆能够定位在基板上正确的位置。该设备由强大的软件平台提供动力,使用户能够轻松创建、保存和加载其配方,并为标准和专有蚀刻配置文件提供支持。通过使用LAM集成的Process Expert™软件,使蚀刻过程的定制变得简单直观,该软件提供了即时蚀刻优化。其直观的用户界面还允许用户快速开发配方，并快速保存后使用。总体而言,LAM RESEARCH Vector Express是一个功能强大、可靠且用户友好的蚀刻/蚀刻系统,提供业界领先的蚀刻性能和效率。它是高精度蚀刻的完美工具，能够满足业界最苛刻的要求。