二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293625417 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款蚀刻器和asher,它结合了等离子体处理、高级腔室设计和静电屏蔽夹具技术,可提供灵活性、性能和生产力。NOVELLUS Vector Extreme具有出色的工艺控制和可配置性,非常适合前端和后端半导体制造过程。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME具有600mm高纵横比和6区平衡室，电极功率低，提供了改进的介电均匀性和蚀刻轮廓控制。它还利用独特的高频感应耦合等离子体（ICP）源实现了出色的蚀刻速率均匀性、成本效益和最小化溅射。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME还采用了独特的电子回旋共振（ECR）源,以实现最大均匀性和蚀刻速率能力。ECR源有助于最大限度地减少触摸设备和集成电路中的电弧插头,并有助于减少副产品和改善材料性能。Vector Extreme还采用了双碳化硅静电屏蔽夹具和双向夹具旋转，将污染降至最低。LAM RESEARCH Vector Extreme还具有可调压力和可变通量控制，并以合适的工艺调谐，可提供世界一流的吞吐量和优异的产量。它是各种材料的沉积、蚀刻和灰化的理想选择，包括硅、铜、的、硅化物、钨和氮化物。借助高级控制软件,可以轻松调整和监控VECTOR EXTREME,以确保最佳的过程稳定性、控制设置点和性能分析,最大限度地减少停机时间并提高产量。NOVELLUS VECTOR EXTREME由于其提高的吞吐量和出色的工艺控制能力，是一种适合大容量应用的理想蚀刻和灰化解决方桉。