二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293754606 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款多用途蚀刻机和asher，旨在通过生产提供快速准确的基板加工。它是一种高速设备,在吞吐量和运行效率方面均表现出色,同时提供精细线成像功能。NOVELLUS Vector Express配备了多专利、高密度的RF静电卡盘，能够精确控制腔室压力和温度，提高工艺产量。该系统还具有灵活的可变压力选项,可为要求最苛刻的应用程序实现最佳的流程可重复性。LAM RESEARCH Vector Express配置了电弧检测单元，以避免过载并实现高效的材料利用。其自动化的过程控制和实时反馈提供了高保真度的一致性和卓越的细线分辨率。Vector Express的高功率射频发电机易于调节，在不牺牲性能的情况下优化基板蚀刻。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express用途广泛,可处理多种应用,包括灰化、蚀刻和反应性离子蚀刻（RIE）。该机专为大面积电介质、多晶硅、氮化物膜的沉积而设计。它为无阵列薄膜提供了出色的步进覆盖,非常适合制造先进的设备组件。NOVELLUS Vector Express配备了高级流程监控功能,可提供实时室内诊断,以确保最佳蚀刻性能。该工具的用户界面为快速启动生产提供了直观的触摸屏控制。LAM RESEARCH Vector Express是为了最大限度的安全性与可操作性，以特殊的吸振机制构成LAM Research Vector Express。该资产具有低调的特点,便于维护,并缩短了占用空间以有效利用有价值的生产空间。最后,来自NOVELLUS的Vector Express是一款出色的蚀刻器和asher,专为提供各种先进基材的最佳蚀刻轮廓而设计。其射频发生器易于调节，保持高精度蚀刻，而先进的工艺监控系统则提供卓越的实时反馈和诊断。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是按人体工程学设计的,为安全和易于操作而低调设计,其自动化控制确保了高效的生产吞吐量。