二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767046 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是专门为先进的电化学和物理气相沉积应用而设计的蚀刻器/灰化器。NOVELLUS Vector Extreme是性能和质量的完美结合,提供高吞吐量和直观的用户界面,使用户可以轻松设置和调整配方参数。其精密运动设备和数字系统为蚀刻工艺提供了卓越的精度和可重复性，使高密度成像能够在最复杂的晶片基板上进行。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME提供卓越的成像速度、低排便、优越的形态、快速的周转时间。该单元的最大吞吐量速率为每小时4200个晶圆，并提供精确的过程控制，使用户能够以准确和可重复的方式实施过程配方。它具有一个能够容纳多种工艺构型的工艺室，包括多源蚀刻、双目标离子铣削和化学气相沉积（CVD）。为了应对高端蚀刻应用的挑战，NOVELLUS VECTOR EXTREME采用了高速多源喷射器和交替双磁控管等离子源。VECTOR EXTREME机器采用专利核心技术,提供一流的蚀刻/asher性能。该工具先进的交互式实时控制技术提供了快速的反应时间以及即时调整频率和占空比等关键参数的能力。其开环运动资产允许将运动元件定位在0.25 µm ±以内，而其集成视觉模型则确保了将目标定位在腔内时的高度精度。VCA（基于视觉的控制和分析软件）允许用户轻松管理流程参数,设备的高级自动化软件使用户能够快速高效地构建和实施复杂的配方。LAM RESEARCH Vector Extreme系统还具有高级监控和诊断功能,可确保正常运行时间和过程质量。利用内置的流程监控功能,该单元可以立即提供有关室内性能的反馈,而直观的用户界面提供易于使用的设置和配方管理。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME机器符合所有半导体安全法规,为操作员提供安全的工作环境。总之,Vector Extreme 蚀刻器/asher在高度可靠且易于使用的封装中提供卓越的性能和质量。其先进的实时控制技术、快速的反应时间和精确的运动工具使用户能够以速度和精度制造复杂的结构，使其成为先进蚀刻应用的理想解决方桉。
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