二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767058 待售
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ID: 293767058
优质的: 2012
System
Chamber position / Gases
Unit 1 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 2 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
2012 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一种蚀刻/灰烬工具,用于在各种基材（如硅、光刻胶、金属和氧化物）中创建精确的尺寸形状。对时间、温度、气体流速等蚀刻工艺参数具有行业领先的精度和精确控制。该设备的设计使大型基板能够高效加工,尺寸可达450毫米,其灵活的体系结构可加快配方的开发和执行。该系统由若干关键组件组成，包括一个主腔室、一个蚀刻源和一些伴随的组件。主室是为优化蚀刻工艺而专门设计的高精度低压室。它由加热的内衬和强大的多晶金刚石加热器组成，在整个基板上提供均匀的加热。此外，该腔室还具有多种蚀刻物质（气体、液体等）的界面以及坚固的真空和压力控制系统。蚀刻源是单元的核心。它包含许多强大的、高精度的射频（RF）源，产生高度局部化的等离子体场以精确蚀刻基板。射频源连接到自动调节系统,以确保蚀刻过程的参数保持一致。机器的伴随部件包括各种用于引入气体的端口、加热元件以及控制基板压力、温度和流量的各种传感器和执行器。还提供了一套可靠的安全系统，以确保工具的使用寿命和操作人员的安全。NOVELLUS Vector Extreme是一款功能强大的蚀刻/灰烬工具，用于多种基材。它对工艺参数、高精度主室、射频源及相关元件的精确控制，使其成为蚀刻行业的领先者。它采用灵活的体系结构,能够更快地开发配方,并且能够在尺寸可达450毫米的大型基板上产生精确的形状。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME具有强大的安全系统、高效率和坚固的结构,是蚀刻/灰烬的理想选择。
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