二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9099744 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款先进的蚀刻器/asher，利用等离子体反应离子蚀刻（RIE）技术处理具有高度精确蚀刻和身体偏置应用的晶片。该设备提供高精度和均匀性的线性蚀刻控制，能够处理各种晶圆尺寸、温度和环境。NOVELLUS Vector Extreme设计用于洁净室环境，由两个独立的子系统组成，彼此独立工作，以确保最高级别的蚀刻精度和准确性。第一个子系统是等离子源系统，它产生反应性离子蚀刻（RIE）等离子体，以接近完美的精度蚀刻晶片。第二个子系统是气体输送装置，它提供精确计量的蚀刻和清洁气体溷合物，以便进行最佳蚀刻处理。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME还结合了高度自动化，允许用户自定义蚀刻轮廓的参数以满足特定要求。此外，该机器的设计最大限度地减少颗粒污染，以最大程度的可靠性和过程控制。NOVELLUS VECTOR EXTREME能够实现超过1%的工艺重复性和最小30 nm的线宽,非常适合于缩放光刻应用。凭借强大的设计和卓越的功能,VECTOR EXTREME是在各种清洁环境中执行各种蚀刻和车身偏置任务的绝佳选择。