二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9241973 待售

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme
ID: 9241973
CVD System, 12" 2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款用于制造半导体器件的高端蚀刻器和asher。它旨在快速高效地蚀刻和去除不需要的材料,以便对复杂的半导体体系结构进行完美的调整。NOVELLUS Vector Extreme是一款先进的设备,它结合了蚀刻和灰烬步骤,为微调设备的厚度和电阻率提供了增强的方法。该系统具有双级功能,非常适合高级设备处理。它使用板载微控制器独立控制两个阶段中的每一个。这样可以更好地优化过程并加快吞吐量。该单元的径向蚀刻确保光滑蚀刻和间隙闭合均匀性和分辨率。它还为严格的蚀刻工艺提供了卓越的精度和控制。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME具有出色的安全功能,可保护操作员和附近人员免受加工区内有害物质的侵害。它有一个除尘机,以确保尘埃颗粒不会在空气中传播。它还具有化学蒸气控制工具,用于捕获蚀刻过程中产生的任何危险蒸气。这样可以确保操作员不接触有毒化学品。资产有一个集成的晶圆级控制模块,允许层和蚀刻配方管理。它可以被调整为执行复杂的蚀刻过程具有卓越的分辨率和准确性。NOVELLUS VECTOR EXTREME还具有精确定位阶段和自动晶圆对准功能。这使得它非常适合功能尺寸较小的复杂设备。LAM RESEARCH Vector Extreme采用高质量的框架和强大的热声管理。它的双重隔离墙减少振动和声级。它还具有符合人体工程学的设计,以最大限度地提高操作员的舒适度,同时访问模型的所有相关部分。总体而言,Vector Extreme的设计和构建考虑到了用户的安全性和高级性能。在复杂半导体体系结构的生产中,它是一种高效可靠的蚀刻和去除材料的工具。
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