二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9270881 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是专门为现代半导体加工而设计的蚀刻器和asher。它是先进半导体领先的多站等离子体蚀刻工具。NOVELLUS Vector Extreme的设计针对精度和高吞吐量进行了优化。它具有灵活且可配置的体系结构,可用于垂直和水平蚀刻和灰烬应用程序。这种灵活性允许自定义设备以满足特定应用程序的目标规格。它的高分辨率光学系统提供了对等离子体的精确控制，实现了精确的蚀刻和灰烬处理。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME配备了高性能射频感应发生器，提供稳定且可重复的等离子体处理。其先进的矢量特性使射频发生器能够快速准确地对准晶圆级，从而提高了加工产量。矢量装置还确保在等离子体中一致地放置颗粒和其他污染物，有助于防止不均匀的蚀刻和灰分结果。VECTOR EXTREME还配备了气体溷合控制台，允许对任何特定蚀刻和灰烬配方的操作参数进行精确调整。这台机器有助于确保可重复和可靠的结果。此外，气体溷合站可用于监测等离子体发生器中所用气体的纯度，并诊断处理过程中可能出现的问题。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME还通过其自动自清洁工具提供快速、方便的维护。此资产旨在减少停机时间并增强模型可靠性和性能。最后，LAM RESEARCH Vector Extreme兼容了多种先进的传感器和控制器，允许用户根据自己的特定工艺要求定制设备。最后，NOVELLUS VECTOR EXTREME是一种先进的蚀刻器，旨在实现高精度和高通量的半导体制造工艺。它的高级功能,如矢量控制、快速维护和气体溷合,确保了可重复和可靠的结果。它的高分辨率光学系统允许精确控制等离子体进行精确的蚀刻和灰分处理。最后,它与各种控制器和传感器的兼容性帮助用户定制设备以满足其工艺要求。