二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9294398 待售

ID: 9294398
晶圆大小: 12"
优质的: 2010
CVD System, 12" Process: SiN / SiO 2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款金属蚀刻机,设计用于精密蚀刻和退火操作。它非常适合创建对高级半导体封装和元件制造具有微观细节要求的元件。NOVELLUS Vector Extreme是一种全自动设备,在一个系统中使用四个独立的晶圆扫描阶段,允许它一次处理多达四个晶圆。它能够蚀刻铝、铜、钨和钛等金属,具有无与伦比的重复性、准确性和可靠性。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME利用了一种强大的8轴机械臂,它能够对公差低至百分之一微米的层进行退火和蚀刻,并且可以达到3nm的横向速度。这使它能够快速、准确地制造所需的层,而对底层的损害最小。它的可重复性和对汽化金属的精确控制,使其成为微包装应用的可靠选择。LAM RESEARCH Vector Extreme配备了功能丰富的用户界面,为机器的设置、操作和监控提供全面的信息。此用户友好界面允许用户监视蚀刻和退火过程的所有阶段,包括冷却阶段,以确保一致和可靠的生产结果。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME采用独特的汽化金属废水控制装置,旨在确保清洁和合规的操作环境。蒸发金属废水采用多种过滤系统过滤,从空气中清除所有颗粒物和气体污染物,减少与蚀刻和退火过程有关的健康和环境问题的风险。VECTOR EXTREME建立在DRAM600 CE平台上,为各种应用程序提供可靠的操作和可扩展性。此平台提供冗余功能,以确保在最具挑战性和最恶劣的环境中运行可靠。它符合RoHS标准,可以与其他元件生产系统集成,以创建一个完整的机器,为各种半导体和工业应用提供快速可靠的制造。Vector Extreme是一款高性能的蚀刻和退火工具,它以可靠且经济实惠的方式为客户提供难以置信的精确度和可重复性。它的灵活性、准确性和完整的封装使得它成为任何蚀刻和退火操作的完美解决方桉。
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