二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9301496 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款采用专有过程控制算法设计的蚀刻器/asher,可为高级内存设备提供最佳的蚀刻/灰烬性能。该设备与最新一代的光掩模兼容，可以处理包括硅、低k电介质和III-V材料在内的材料。NOVELLUS Vector Extreme采用了一种新颖的分析仪应用程序来识别和表征蚀刻/灰烬过程。这包括一个获得专利的分析器窗口,用户可以通过该窗口精确确定最佳蚀刻/灰分参数。它还包括一个先进的主动气体控制系统，监测等离子体性能和调整气体流量，以优化蚀刻/灰烬过程。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME通过等离子体辅助蚀刻，利用化学反应气体溷合物蚀刻掉层层材料。其尖端等离子体源产生高功率等离子体，以确保光滑、一致的蚀刻/灰烬过程。它的快速循环时间允许在更短的时间内进行大批量生产,而其低k回流技术则确保了最佳的蚀刻/灰烬性能,且热膨胀和收缩造成的损害最小。LAM RESEARCH Vector Extreme还采用了新颖的Predictive Performance Unit技术,使用户能够输入所需的模式,并在处理之前准确预测蚀刻和灰化结果。这台机器从过去的蚀刻/灰烬步骤中学习微调过程以获得更好的性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME被设计为最大的处理速度和精度。它具有一个大的加工室，允许同时蚀刻和粉刷多个晶片批次。它还可以连接到其他工具以提高工具的吞吐量和利用率。Vector Extreme是完全自动化的,具有集成的安保和安全系统。它支持远程监视、警报和远程诊断。它还能够使用软件修复程序自动更新自身,从而确保在其整个生命周期中实现尽可能高的性能。