二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9227340 待售
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ID: 9227340
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
CVD System, 12"
PE-TEOS Process
Automatic lift chamber mechanism
I/O Port stage: OHT
Foup capability: (25) Slots
Controller:
System monitor: LCD Type
Remote monitor: Keyboard, LCD type
Controllers & boards temperature: Under 40°C
Gas system:
Gas line: 1/4 VCR
NF3 Gas
Filter: SUS316 SS / NF3 Hastelloy
Gas box temperature: Display by digital gauge
Negative voltage of MFC signal: Display, interlock
SAMSUNG Chamber pump
Load lock & turbo molecular pump
Capacitance manometer for chamber pressure control: Tempered type
Pressure transducer for chamber: ATM Switch
TM & Load lock fore line shut-off valve: Electric valve
Ground for D NET: Chassis ground
Circuit safe guard: All Circuit breaker
Internal utility line color SEMI Standard
Heat exchanger: Pressure control
Chamber
AC Rack
NPP Rack
NTU Box
Wall computer
Chase computer
2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一种高级蚀刻/asher工具，用于半导体制造工艺。它是一个环境工艺室，能够对石英、硅和某些金属等基材进行高精度的等离子体蚀刻。NOVELLUS Vector具有两种等离子体源：一种是标准源，即13.56 MHz射频发电机，另一种是可选的可切换源，即低频射频电源。这两个等离子体源允许蚀刻具有不同蚀刻化学性质的各种材料。它还具有高功率快速热退火（RTA）腔室，可以更快地热处理基板。LAM RESEARCH Vector具有多种功能,使其成为一种通用的蚀刻工具。其垂直设计提供了一个均匀的蚀刻环境，而其自调阶段则用来对齐和调整不同的基板形态。它还配备了自动化阀门以最大化不同的加工化学，以及精确运动控制器使晶片对准目标蚀刻深度。此外,Vector还配备了一种精密的扫描算法来精确控制过程时间和深度.其自动化的晶片装卸也使得操作方便。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector的高级蚀刻功能使其成为各种项目的理想工具。它结合了精确度和控制,提供了最佳的蚀刻质量.它的自调整等离子体源还可以让操作员轻松调整蚀刻密度和配方，提供高效有效的处理结果。此外，它的快速热处理能力使加工周期变得紧凑，并确保基材能迅速为下一个过程做好准备。总体而言,NOVELLUS Vector 蚀刻器/asher是一个用户友好、高度先进的蚀刻系统。由于其高精度的等离子体蚀刻能力加上快速热退火和自动晶圆处理，它是半导体制造项目的绝佳选择。LAM RESEARCH Vector具有多种多样的特点,是一种非常可靠有效的蚀刻工具.
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