二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235071 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款先进的多功能蚀刻机-asher设备,旨在精确高效地蚀刻和绘制各种材料。该系统利用硬件和软件组件的组合来控制处理和维护所需的流程参数。硬件由大型机、计算机工作站、电源、可编程空气供应监测器、真空和气体调节器、超高真空源和多个处理室组成。软件套件允许用户开发一套指令来控制处理和微调蚀刻过程。NOVELLUS Vector使用反应性离子束蚀刻技术，这是一种利用离子束从目标材料中蒸发分子的蚀刻方法。光束中的离子向目标加速，在目标表面被吸收，然后释放到蚀刻室的气体环境中。气体中的反应性离子与材料发生反应，从而产生目标材料所需的图样或形状。控制单元允许用户设置特定的工艺参数，如气体流量、压力和温度，这将导致必要的蚀刻深度和宽度。在材料上蚀刻高分辨率图样时，LAM RESEARCH Vector机器使用光刻室，其中图样或掩模放置在基板上并暴露于高功率激光。基板在激光下以精确的模式移动，由控制工具的程序指令决定。图样暴露后，反应性等离子体蚀刻过程用于蚀刻掉基板中未受保护的区域。矢量资产可以蚀刻分辨率高达50纳米或以上的x-y基板，这取决于材料和基板特性。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector模型具有多种安全功能,可帮助保护操作人员和设备附近的人员。这包括设备周围的保护性外壳、警报器和安全联锁装置,如果检测到超出安全限制的条件,这些装置将停止该过程。NOVELLUS Vector是一个可靠的系统，已经被证实是各种应用的主力，从顶层金属化到3-D结构。对于许多行业的材料蚀刻和加工来说，这是一个高效、经济的选择。