二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235073 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款用于半导体应用的asher/etcher。它是一个功能强大的工具，提供先进的等离子体蚀刻技术和模块化架构，提供灵活性和可扩展性。NOVELLUS Vector利用高效的多磁控管源实现了最优等离子体轮廓均匀性。它的三室架构允许快速晶片处理端（HDP-PR）变更。LAM RESEARCH Vector的高速静电卡盘（ESC）晶圆处理设备允许提高蚀刻均匀性和吞吐量。ESC系统还结合了一种倾斜机制，允许在大面积蚀刻时改善晶圆的平行性。Vector还具有一个全面的端点（EPD）检测单元,用于监控蚀刻速率和端点精度的可变性。为了提高CHF3蚀刻速率和选择性，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector采用了先进的气体生产机，包括气体引入歧管和快速脉冲式气体百叶窗。NOVELLUS Vector的自动气体面板编程调整可确保快速应用最佳蚀刻过程。LAM RESEARCH Vector的基于CCD的视觉工具，从晶圆的顶部和底部表面，具有很高的识别精度和分辨率。这种双视图CCD资产为正面和背面蚀刻提供了精确的蚀刻位置和蚀刻面积测量。Vector还包括一个强大的模型监测能力，允许快速维护和环境数据收集和分析。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector还提供高级硬件和软件级别的诊断功能,包括各种外部诊断。这使用户能够快速识别和解决任何流程问题。NOVELLUS Vector已成功部署在广泛的光刻、蚀刻和沉积过程中。通过利用LAM RESEARCH Vector的高级功能,用户可以将蚀刻器用于大批量生产线的复杂和简单过程。Vector为客户提供了极致的灵活性、高吞吐量和改进的过程控制。