二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235161 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一种蚀刻/灰化工具（或化学机械平面化（CMP）设备），用于处理半导体晶圆。它是为高吞吐量性能而设计的,具有广泛的过程模块,可轻松集成到生产线中。NOVELLUS Vector具有两个阶段的过程。在第一阶段，使用氧化剂和蚀刻剂去除了晶圆的顶层。第二种是使用高密度等离子体（HDP），以远高于传统湿法化学过程的速度和更高的分辨率蚀刻表面。LAM RESEARCH Vector系统是为最大限度地优化过程效率和正常运行时间而设计的。它具有线性处理器,可降低对流程性能和速度的负面影响。它能够用可调参数控制工艺条件，从而使工艺参数具有更大的灵活性。Vector还具有独特的存储模块,可提供更清洁的流程环境,从而实现更高的保真度结果。再者，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector使用单一晶圆的方法，从而消除了批处理的需要。NOVELLUS Vector的最先进的测控能力也令人印象深刻。它具有双级工艺监视器,在蚀刻不同层时可提高工艺控制和工艺稳定性。它还包括高级自动化对齐,以确保整个晶圆的均匀性。此外，LAM RESEARCH Vector还配备了一个自动化分析仪，可以监控蚀刻过程，并为过程优化提供反馈。总体而言,Vector是一台高级蚀刻/灰化机,专为高吞吐量性能而设计。其创新的设计允许最大限度的过程效率和正常运行时间，以及先进的测量和控制能力。它是半导体工业的理想工具，可以为任何晶圆加工设施提供竞争优势。