二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235239 待售

LAM LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一种用于半导体制造的蚀刻或灰化工具。NOVELLUS Vector不仅可以执行蚀刻或灰化应用程序,还可以优化完整的流程工作流。该设备具备精确的介电蚀刻和氧化物沉积能力，可用于高质量的设备加工。LAM RESEARCH Vector采用模块化、紧凑的设计,为小型生产运行提供了快速、可重复的过程。它极其可靠,具有较高的铸造性能和吞吐量。该系统具有极好的均匀性和精确度以及非常紧密的工艺窗口,使其成为一系列工艺配方中的理想工具,包括高K介电蚀刻、局部互连蚀刻或铜隙填充蚀刻应用。此外,Vector强大的处理能力使其成为服务群集中挥发性材料（如高K介电蚀刻或沉积氧化物）的最佳工具。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector集成了NOVELLUS Vector控制和独特的光束等离子体源，以实现卓越的蚀刻速率控制、均匀性和精确度。该单元还具有增强的过程自动化功能,能够快速响应不断变化的生产计划。它提供了强大的过程安全功能来阻止潜在的破坏者,其先进的隧道和滑杆设计提供了更高的吞吐量和屈服性能。通过扩展的过程管理工具集成,LAM RESEARCH Vector提供了最大的灵活性和对关键处理参数的控制。Vector还集成了高级工艺控制功能,以确保最佳工艺精度和均匀性。它包括通用配方管理和高级流程计量能力。计量能力提供了广泛的参数，以确保过程的准确性和统一性。该机具有快速的可编程性,可实现快速、可重复的过程优化和高生产率。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector还具有一系列安全功能,可保护操作员和关键设备免受潜在危害。该工具结合了安全壳和激光安全技术，以确保晶圆处理环境的安全。最后,NOVELLUS Vector的设计考虑了直观的用户体验,使其易于编程和操作。