二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244820 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款多合一蚀刻器/asher,专为处理最具挑战性的尖端技术而设计,这些技术需要精确、可靠的蚀刻和/或粉刷。NOVELLUS Vector利用革命性自动化控制设备（RACS）来确保每个过程都按照关键规格进行控制。这样可以确保每个循环均匀且可重复的蚀刻和灰分结果。LAM RESEARCH Vector配备了安静、低振动、粒子控制、真空系统和高效的远程等离子体源，能够更快地处理。它具有一个快速、精确的步进和基于检流计的集成运动控制单元，以减少蚀刻时间，同时保持高精度，以及一个模块化的，机器人式的终端效应器，大大提高蚀刻速率和产量。Vector还配备了强大但极其精确的光束对准机，以确保即使是最复杂的图样上的紧密跟踪特性。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector配备了先进的安全系统,以确保所有敏感组件保持完好无损,并始终保护人员。它具有强大的照明工具,允许在操作过程中轻松查看图样,以及可用于检查工具损坏和污染的实时过程监控资产。NOVELLUS Vector还配备了趋势分析和数据记录模块，以确保每一层都按照预定的规格进行蚀刻。LAM RESEARCH Vector的灵活性使得它适合各种蚀刻解决方桉。它易于使用的图形用户界面（GUI）和集成的联网功能使配置作业和将作业从一个工具转移到另一个工具变得简单。Vector的开放式体系结构设计确保它与各种供应商提供的所有可用软件完全兼容。这允许用户配置和设置自定义流程序列和层组合,以及集成来自任何其他模型的现有作业集。此外，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector能够执行多种任务特定的功能，如偏置、离子铣削、深度筛选、碳纳米管蚀刻、高纵横比蚀刻。该设备的设计目的是提供非常低的拥有成本。通过使用单一平台和集成腔室，可以降低投资成本，提高工艺产量。最后,NOVELLUS Vector是市场上最可靠、最具成本效益的系统之一,使其成为任何希望将其蚀刻和粉刷提升到更高水平的企业的理想解决方桉。
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