二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244876 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 9244876
优质的: 2003
CVD System
Chase PC cart
NPP Rack
NTU
AC Rack
(2) Light curtains
2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款设计用于半导体工业的蚀刻器/asher设备。它是为晶圆制造应用而设计的高性能系统。该装置专为大批量生产线而设计，提供精确可靠的等离子体蚀刻和灰化工艺。它拥有先进的单晶片基板加工站，具有符合人体工程学的用户界面，能够处理各种各样的晶片尺寸和过滤气体。NOVELLUS Vector机使用独特的化学气相沉积（CVD）工艺蚀刻和清洁半导体表面。CVD工艺在严格控制的环境中使用各种气体组合，在晶圆表面沉积薄薄的材料层。这一过程导致晶片和基板之间的界面质量更高，表面更光滑，缺陷更少。该工具采用模块化设计,便于扩展和整合新功能。其先进的气体控制资产提供了卓越的稳定性和工艺参数控制，同时最大限度地减少了停机时间。该模型还提供了一个独立的加热控制设备，可以更好地控制过程温度稳定性。该系统具有多用途硬件配置,具有多个用于高分辨率成像的光学组件,以及用于一致结果的统一沉积模块。该装置还有一系列传感器，用于过程监测和控制，有助于保持过程的效率和质量。LAM RESEARCH Vector机比竞争系统有几个明显的优势，例如其操作范围大、吞吐量高。此外，其先进的底物加工和沉积能力使其成为各种半导体制造应用的理想选择。最后，它灵活的设计可以方便地与各种类型的生产线和工艺集成。
还没有评论