二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9250686 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一种蚀刻器/asher，设计用来蚀刻各种材料表面。该蚀刻器/asher的创建是为了帮助各种工业应用，从移动设备部件到计算机内存芯片。NOVELLUS Vector 蚀刻器/asher使用双光束源技术最大限度地提高材料的空白和蚀刻深度。这种双梁技术不仅限于蚀刻材料，还同时进行层沉积。LAM RESEARCH Vector是为半温度和温带工艺室设计的，在涂料显影剂中有一系列的工艺敏感剂，用户可以在其中放置存储芯片和金属层等基材，用于精确的蚀刻和开发过程。利用其先进的双光束源技术,Vector将基板加热到大约1200 °C至2400 °C的温度,用于蚀刻或层沉积过程。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector在其密封室内利用了一个单一的转移机器人，它能够以最小的人与人之间的互动，每小时转移数千种基材。它的光束源有助于创建极小的高精度开口，其双光束技术有助于减少浪费和保存材料。NOVELLUS Vector最好用于处理直径在8"到12"之间的晶片，能够处理复杂的过程任务，如氧化、氮化、金属化、退火、氮化和低温扩散。它的自动化工艺和先进的激光源技术确保了精确和精确的蚀刻，与最小的人的互动。总体而言，LAM RESEARCH Vector是一种针对各种材料的高品质蚀刻和精密层沉积而设计的蚀刻器/灰化器。其双光束源技术和密封室内的单转移机器人使其能够处理复杂的过程任务，其微小的光束开口导致高精度蚀刻。Vector是为直径在8"到12"之间的晶圆而设计的，可以精确高效地加工基板。