二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9378180 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是为大体积晶圆製造而设计的先进蚀刻/asher设备。用于高科技芯片生产的制造厂；NOVELLUS Vector与其他蚀刻工具一起工作，定义、塑造和清洁晶圆或芯片的不同层。LAM RESEARCH Vector利用氟基等离子体蚀刻和清洁硅、铜和其他材料的薄层。与同类产品相比,它能够执行各种更精确、更详细的蚀刻操作。它采用了先进的技术，如氦增强等离子体灰烬（HEPA）、高密度感应耦合（HDIC），实现了对温度、流量和蚀刻速率剖面的快速、精确控制。Vector独特的射频感应源设计还允许精确控制粒子密度和能量分布，从而可以提高蚀刻产率，最大限度地减少对基板的不良损害。此外，系统的设计特别考虑到安全和效率。它结合了先进的自动化技术和质量保证操作，大大减少了蚀刻操作所需的时间。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector的高级软件套件可确保流程一致性,并消除人为错误的可能性。这改进了工具上的计量,使流程工程师能够在潜在问题成为关键性能故障之前快速发现问题。这进一步得益于机组的高吞吐量，使得其非常适合大批量生产。NOVELLUS Vector还拥有一台先进的内置污染控制机器,可控制新材料和旧材料的各个方面。这确保了蚀刻室的清洁度，并防止潜在的沉积物被转移到晶片上，从而可能导致工艺故障。总体而言，LAM RESEARCH Vector是来自NOVELLUS的可靠、高性能的蚀刻器/asher工具。它以先进技术为基础，对蚀刻工艺提供更大的控制。其安全性和污染控制功能使其成为大批量生产工作流程的强大工具。