二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595649 待售
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LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蚀刻器/asher,旨在为用户提供在蚀刻和蚀刻工艺方面的最大灵活性。这种设备设计用于处理各种应用，从通用蚀刻到高精度微加工。它兼具多功能性和可靠性，是许多蚀刻和灰化需求的绝佳选择。ONTRAK 2300 Exelan Flex由集成控制器、电气组件、晶圆旋转木马、淋浴头和侧壁组件组成。健壮的控制器通过用户友好的图形显示和直观的控制面板为系统供电,这些面板提供简单的操作、参数输入和状态显示。电气组件包括继电器和接触器,在运行过程中确保正确的电源和工艺级别。晶片旋转木马牢固地固定晶片，用于进出加工室，并采用抛光不锈钢内部结构，以达到最佳清洁和耐用性。淋浴头和侧壁组件提供了许多可定制的过程,如反应性离子蚀刻（RIE）、感应耦合等离子体蚀刻（ICP）、灰化和剥离。淋浴台设计为提供整个晶片的均匀蚀刻，而侧壁组件则允许选择性蚀刻，可通过优化晶片在工艺室中的位置来减少蚀刻时间。该单元通过其先进的配方创建实现了出色的和可重复的蚀刻结果，从而允许过程监测和调整。配方性能可以通过分析任何配方/批次上的各种参数--包括晶圆位置和压力、腔室温度和压力、气体流速和工艺时间--来评估和进一步优化。该机器还具有全面的安全功能,如超压、过压和温度监控系统。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex的设计和制造符合最高质量标准和规格,是满足许多蚀刻和灰化相关需求的理想解决方桉。它结合了全面的硬件和软件功能、可靠性和灵活性,使其成为许多不同类型的蚀刻和灰化应用程序的绝佳选择。
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