二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595651 待售
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ID: 293595651
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Dielectric etcher, 8"
Gasbox
BROOKS / PRI AUTOMATION ATM/VTM Robot
2004 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款功能强大且用途广泛的蚀刻器/asher,专为各种微加工应用而设计。其加工多种基材的能力,如硅、砷化的、石英、陶瓷等复合材料,使其成为研究人员、工程师和生产人员的可靠、经济实惠的工具。ONTRAK 2300 Exelan Flex旨在在单个设备中提供最大的过程灵活性。它以热源、等离子体源和紫外线源相结合的串联腔室设计来精确控制蚀刻/灰化过程。通用的双室系统可用于蚀刻、ashing和钝化过程,两个室可单独调节以容纳各种基板。该单元还配备了一个内置的动态晶片处理单元,用于高效装卸基板和改进同时过程控制。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex还提供先进的控制和安全功能,使其特别方便用户且操作安全。该单元采用了综合的过程监测机和PID控制,采用高速数据采集工具来优化过程可靠性。增强的安全装置有助于降低设备损坏和人员受伤的风险,使其成为精细微加工和医疗设备应用的绝佳选择。2300 Exelan Flex还具有易于使用的设置、控制和监视功能。控制单元允许非易失性配方存储以及可重复过程的一键式操作。该资产还带有用于远程操作和监控的集成计算机接口。LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高效且经济实惠的蚀刻/粉碎机,适用于从医疗设备生产到先进电子元件生产的任何微加工应用。
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