二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #78823 待售
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已售出
ID: 78823
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Etcher, 12"
Specifications:
Mainframe: 2300 ver 2.0 (4VPM)
(Qty 3) FOUP Loaders
(Qty 3) Hermos carrier ID
Light curtain for OHT
Status lamp (RYGB)
25-Slot input buffer station
Cable: TM-Subpanel, 100ft
TMLocal NSR: system backup software
(3) 2300 Exelan Flex CFE etch chambers:
PM1: 2007 vintage
PM2: 2007 vintage
PM3: 2007 vintage
Common Items (Qty 1 per chamber):
1600 L/S Edwards Turbo Pump
PMNSR6215: Dual Chiller Install Kit
PMNSR6496-1A (SEMI F47)
2300 Exelan FLEX Quick Clean Kit
2300 Exelan FLEX Pendulum Valve Kit
2300 Exelan FLEX Service Tool Kit
Gas Box: 16 Line Gas Box (IGS)
Software: 2nd HSMS (Fab comm.) Support
Qty 2: ESC, ASSY, DZ CLG, 2 FNSH, 12"
Electrical: 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
CE marked
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蚀刻和灰分半导体加工设备。它常用于光刻和图桉，以及蚀刻、抗剥离和灰化。该系统是一个高端模型,在广泛的温度、压力和时间范围内提供统一且准确的处理结果。Exelan Flex专为多种应用而设计，包括晶圆蚀刻、介电和铁磁图桉以及等离子体蚀刻。它使用通用微波（UWM）发生器运行,并提供多种处理功能和过程。这使用户能够在晶圆上以高度的精确度创建精确的模式。Exelan Flex对于抗剥离和灰化以及其他化学加工也是有效的。由于其精确的温度和压力控制,Exelan Flex提供了高重复性和准确性。它包括一个基于计算机的图形用户界面，允许用户创建和监视进程参数。该单元还具有多种高级功能，如自动重复编程、实时图形和批处理。该机还具有化学管理功能和对预编程配方的支持。Exelan Flex是一款非常可靠的工具,提供出色的吞吐量和整体性能。它还提供了易于使用的用户界面和强大的数据管理资产。该型号还包括排气设备和系统升级套件等配件，帮助用户保持设备的最新状态。最后，这台蚀刻灰烬机是为最佳安全而设计的，具有为防止事故而设计的内置安全功能。此工具非常可靠和高效,可帮助用户轻松创建准确的模式、蚀刻和灰烬。ONTRAK 2300 Exelan Flex是广泛的光刻和阵列应用的绝佳选择。
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