二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9032660 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex设计用于芯片生产所需的晶片的高通量处理。这种蚀刻器/灰化器的开发是为了为各种基材提供卓越的蚀刻/灰化。该设备采用了专利和高效的温度控制等离子体工艺，与传统的加工方法相比，能够实现更广泛的蚀刻和灰化要求。它还配备了一个高度可定制和可升级的平台，允许用户根据自己的特定应用需求定制设备。Exelan Flex专为易于使用和可靠操作而设计；要求操作员对直观的用户界面进行最少的干预。有了一个开放的卡带加载系统和对批处理的工具进行编程的能力，它可以快速准确地处理各种各样的晶圆。它还能够实时检测和纠正错误，从而降低报废率。Exelan Flex包括一个集成的质量流控制器和一个完全可编程的晶圆传递机器人等功能，能够精确控制过程气体和气动真空。此外，该设备还配备了精密的工艺控制器，能够控制多个工艺参数，以优化蚀刻和灰化性能。Exelan Flex还具有高精度成像单元,可在任何给定时间同时查看整个晶片。这台功能强大的成像机可以精确控制蚀刻和灰化过程,并能够识别晶圆上的热点或模式,从而提高产量并减少生产操作过程中的损失。Exelan Flex提供了一种环保的蚀刻/灰化解决方桉,因为它使用的化学品和溶剂最少,并且减少了视频显示终端（VDT）灯泡的排放。ONTRAK 2300 Exelan Flex Etcher/Asher具有卓越的性能、灵活的平台和易于使用的接口,是满足任何芯片生产需求的绝佳解决方桉。