二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095926 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先进的用于晶圆制造和技术开发的蚀刻/asching设备。ONTRAK和LAM RESEARCH技术的结合，使该系统成为了一个强大的蚀刻、灰化和清洁过程工具。Exelan Flex单元的设计允许精确、可重复的蚀刻和灰化过程,周期时间更短,同时还提供了高度的过程灵活性和可靠性。该机设有两个高压离子室，允许自动高压蚀刻或灰化，或通过气体脉冲调制微调蚀刻。压力范围从100,000到1000 torr是可选择的。每个腔室的压力可以独立调整和监控，允许不同的过程在同一个工具中同时运行。该资产还可设置用于双源蒸气蚀刻（DSV），将标准蚀刻/灰化工艺与大气压灰化工艺相结合。Exelan Flex采用宽带微波激发模型,用于有效、高能蚀刻或灰化。该设备可在1.3至13.4 GHz的宽频率范围内运行，提供了根据工艺要求调谐和调节激发的灵活性。高灵敏度热管理系统和气体休眠自动控制（Gas Repose Automatic Control，GRAC）也包括在单元中，允许使用者精确控制室内的温度和气体流量。Exelan Flex是一款高度集成的机器,减少了对附加组件的需求,并提供了灵活、独立的蚀刻或灰化工具。LAM RESEARCH/ONTRAK和ONTRAK提供专家流程设计和资产整合服务，允许用户根据自己的特定要求定制模型。对设备中使用的所有部件进行了广泛的测试，以确保质量和可靠性，使其成为高精度蚀刻和灰化工艺的可靠选择。