二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095927 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先进的、可靠的蚀刻器或asher,设计用于对多种材料进行等离子蚀刻和灰化。2300能够对小至1.25mmx1.25mm的样品进行蚀刻和粉刷,均匀深度可达1000 μ m。该蚀刻器包括高达500 °C的温度控制和高达300mTorr的动态压力控制。它还提供了广泛的基板，包括但不限于TFT、STN、LCD和印刷电路板。机器与所有主要磁带系统的兼容性允许自动处理和增加吞吐量。此外，2300还能够处理各种气体，包括氙气、氦气、氟离子和氢气，以及丙烯或乙烯等有机化合物。此外,它还具有自动晶片传输功能,可以有效地加载和卸载晶片。该蚀刻器采用先进的模块化技术,具有卓越的灵活性和可扩展性。其图形用户界面（GUI）提供了用户友好的功能、操作和编程。凭借其独特的Computer-In-Loop功能，2300可以与计算机通信，接收额外的参数如配方、温度和压力设定点以及等离子体时间的量。2300还配备了先进的自动匹配设备，调整等离子条件，针对不同蚀刻作业优化等离子参数。该设计还允许高效维护,使用方便用户的工具清洁和更换部件。该机能够通过自动晶片温度和压力控制系统保持晶片的最佳质量。此外，该装置还受到包括离子泵、等离子体陷阱和真空排气阀在内的安全措施的保护。为了进一步保护设备，2300包括一个自动真空室排水机和一个泄漏检测传感器。总而言之,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先进、可靠的蚀刻器和Asher,通过其独特的模块化设计和高级功能提供卓越的灵活性和可扩展性。它提供高效的操作、准确的结果和可靠的安全性，使其成为各种材料蚀刻和粉刷的理想机器。