二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095928 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高级蚀刻器/asher,旨在实现复杂的基板处理应用。该蚀刻器将高密度反应性离子蚀刻（RIE）和灰分/灰分蚀刻技术结合起来，用于需要高侧向分辨率和选择性的应用中的图样化和掩蔽基板。ONTRAK 2300 Exelan Flex配备了变压空气轴承式运动控制设备，可实现纳米级精度和可重复性，还具有高效的多键电子回旋共振（ECR）射频（RF）光源，用于蚀刻和灰化。此ECR源能够精确控制蚀刻配置文件和选择性,从而加快周期时间并获得更一致的结果。蚀刻器/asher还具有优化的多区域负载锁和主轴驱动器自动基板处理系统,可确保可靠且可重复地交付基板。它还包括一个外部涡轮泵为基础的真空单元，使更高的吞吐量。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex设计为完全自动化。自动化工艺配方可以针对各种基材和工艺进行编程，包括多腔灰进/灰出和RIE配方。硬件和软件便于与现有系统和网络集成。总体而言,2300 Exelan Flex是一款先进的基板蚀刻器/Asher,可满足各种基板上需要高精度纳米级工艺的应用需求。其变压空气轴承运动控制机、优化的多区锁定和主轴驱动工具以及外部涡轮泵真空资产，提供了令人难以置信的快速、精确和一致的结果。它是需要精密蚀刻和灰化工艺的纳米加工应用的理想选择。