二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9205200 待售
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ID: 9205200
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Dielectric etcher, 12"
Process: Oxide etcher
Cassette type: (25) Slots Cassette
PM1: LAM 2300 Exelan flex
PM2: LAM 2300 Exelan flex
PM3: LAM 2300 Exelan flex
Gas system type: IGS Gas box
Options:
ESC Type: 385
ESC Cooling: Dual zone
Upper electrode: Heated
Bias match:
2 MHz (5000 W)
27 MHz (3000 W)
12” Turbo pump: 1600 L/s EDWARDS
Endpoint detection: OES
ATM Configurations:
Front end loadport cassette: 3 FOUP
Cassette ID: Hermos carrierid
Factory automation: OHTPIO Sensor w / Light curtain
Input buffer station: (25) Slots
VTM Configurations:
Conditioning station A: No
Conditioning station B: No
Airlock wafer fingers: Stainless wafer pads
Backing pumps for TM: EDWARDS EPX180
Peripherals:
TCU Config: ATS DEX-20A (HT200)
Scrubber
Gas box:
MFC Type: Unit 8561
(12) Gas lines
Tuning gas1 type: O2
Tuning gas1 flow: 10 sccm
Gas box configuration:
Line MFC Type Gas type Gas flow
Line1 Unit 8561 Ar 1000
Line2 Unit 8561 O2 3000
Line3 Unit 8561 CH2F2 100
Line4 Unit 8561 N2 500
Line5 Unit 8561 CO 500
Line6 Unit 8561 CF4 200
Line7 Unit 8561 C4F8 50
Line8 Unit 8561 C4F6 50
Line9 Unit 8561 SF6 100
Line10 Unit 8561 O2 50
Line11 Unit 8561 CHF3 100
Missing parts:
(3) Flex 45 chambers
LAM 2300 ATM Robot o-ring
Ring
He
ESC 38x
RND, 300 M
2005 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款最先进的蚀刻/asher设备,为各种工程过程提供卓越的性能。该系统包括一套完全集成的模块、组件和工具,可实现大多数现代蚀刻、等离子体清洁和表面修改技术。这种灵活性和自动化允许定期安排、可重复的过程,如光刻、蚀刻、等离子体清洗和表面修改,变得更快、更高效。高精度单元配备了可编程的Active End-Point （AEP）控制器，允许各种蚀刻轮廓，调节蚀刻和清洁过程。随着蚀刻过程的进行，AEP会自动调整蚀刻时间和电流，从而确保整个过程的蚀刻速率一致。这样可以提高工程项目的质量、可重复性和生产率。AEP能够管理各种尺寸、高度和形状的设备,并可以测量通过材料轮廓进行蚀刻的进度。这台机器完全可定制,以便针对满足用户要求的不同流程进行优化。它包括一个板载超压可变反作用正向（OVRF）压力控制工具，能够实现低至0.0001 Torr的超低真空条件。这种低压能力可以提高蚀刻精度，使光刻材料更好地粘附在基板上。它还提供表面光洁度控制和先进的材料蚀刻管理。它具有高性能的阀门控制资产，允许在不到一秒的时间内中断过程，以降低污染风险。使用EPA（蚀刻过程自动）固件,该模型具有各种自动化功能,以简化设置和单元优化。这包括流程日志、设置向导、趋势分析、性能监控、改进的周期时间优化和单一配方处理。这有助于确保一致性、可重复性和准确性。该设备可通过完全集成的现场和远程控制系统轻松监控。它通过网络提供快速的响应时间,并且与流行的软件兼容,以便于监视和控制各种设置。远程访问允许更快地解决问题、多远程分析、更快的维护周期和可追踪性审核。ONTRAK 2300 Exelan Flex是一个高级蚀刻单元,可为各种工程过程提供精确、灵活和自动化。凭借其自动化功能和高性能组件,这台最先进的机器提供了用于快速、准确和高效蚀刻、等离子体清洁和表面修改的工具。
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