二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9232235 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蚀刻器/asher，设计用于在晶圆上产生高精度的器件和图桉。它是使用ProExel技术使用物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）在大小和厚度各异的晶片上的组合精确蚀刻和灰化硅等材料的先进蚀刻器/灰化器。蚀刻器/灰化器由几个组件组成，包括调频等离子体源、水平升降室、湿等离子体反应器、垂直升降室、蚀刻室和负载锁。等离子体源产生与被蚀刻材料相互作用的高能离子，以提高蚀刻选择性并降低蚀刻速率。水平升降室允许操作员倾斜和旋转晶片，使其在整个过程中自由移动。湿式等离子体反应器产生均匀的蚀刻轮廓，不需要晶片保护膜或单独的腔室。垂直提升室和蚀刻室进一步增强了蚀刻过程的自动化，使操作员能够密切关注蚀刻速率和对复杂架构的选择性。最后,负载锁定可确保晶片在整个处理周期中始终牢固地锁定到位。ONTRAK 2300 Exelan Flex 蚀刻器/asher提供了多种优点,使其成为各种设备级流程应用程序的热门选择。它可以在高达800°C的温度下运行,并且能够产生具有可重复精度的关键几何形状。蚀刻器/asher可用于创建各种具有出色蚀刻轮廓的金属和合金,使其成为MEMS、IO、微流体和III-V应用的理想选择。蚀刻器/asher还提供了涂层的灵活性，包括沉积各种金属、介电层和介电堆栈的能力。最后,Exelan Flex 蚀刻器/Asher是市场上效率最高的蚀刻器/Asher之一,它允许高容量的过程而不牺牲质量。