二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9235397 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一种先进的蚀刻和灰化设备,专为复杂设备结构的高通量处理而设计。它能够以超高速度蚀刻氧化物、氮化物和其他介电材料，以及去除非挥发性碳质有机物，具有极高的均匀性和精确度。Exelan Flex采用双RF发电机,在交流和直流模式下均可实现高蚀刻速率,并具有可调功率级别以实现最佳控制。该系统还包括一个多源气体输送装置，在蚀刻过程中最多可引入三种气体，以增加灵活性。Exelan Flex提供了低压电容耦合和电感耦合等离子体（CCP和ICP）蚀刻的组合,为各种器件结构提供了卓越的性能。其最先进的控制机具有强大的数学逻辑单元（MLU）算法，结合用户可调节的偏置电压、气压等控制参数，实现了优越的过程重复性和均匀性。Exelan Flex还具有出色的安全功能,符合最严格的行业标准。它的全密封环境室确保了对加工气体和危险副产品的可靠控制，从而能够在低压环境中安全运行。它包含一个自动化的自清洁工具,可减少或消除操作过程中的人工需求,以及一个全面的流程库存控制资产,该资产可自动化物料处理操作并便于快速设置和高效操作。Exelan Flex因其优越的性能和可靠性而在微电子行业被广泛采用。它能够以极高的蚀刻速率处理各种介电材料,具有出色的均匀性和可重复性,非常适合用于生产高性能集成电路、VLSI和ULSI设备以及各种其他微电子元件。其先进的安全特性保证了人员和设备的安全，而其全面的过程控制模式则保证了一致的效果。所有这些品质的结合使得ONTRAK 2300 Exelan Flex成为最佳微电子器件制造的绝佳选择。