二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9237871 待售
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ID: 9237871
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Dielectric etcher, 12"
(2) Chambers
2300 Transport module
Dual arm effector wafer handling, 12"
Automated wafer centering
Flat / Notch finding
User interface
Side monitor
Press gauge in SI unit
Online: GEM 300
(2) 2300 Exelan flex DD etch process modules
Fixed gap electrode / One box
ALCATEL 1600MT
Dual gas feed
Dual zone ESC
Heated upper electrode
(2) 12 Gas configurations
2 PM stack kit
System UPS circuity
Seismic bracket (TM / PM / MWS)
System weight dispersion plate (TM / PM / RPM)
ELB With ring lug
(24) MFC 1661 Units
(2) PIO Sensors
(2) OMRON Tag readers
Analog press gauge in SI unit
Digital press gauge in SI unit
Signal input / Output
Quick cleaning kit
2300 Exelan Pend valve CLN kit
(2) TCU: ATS DEX-20A Chillers
(3) FOUP
2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款功能强大的蚀刻和asher设备,专为满足半导体制造业的需求而设计。此高级系统以获得专利的Exelan处理平台为基础,为干湿蚀刻和灰化提供了最高水平的精度和性能。Exelan Flex单元利用直观的图形用户界面,允许用户在蚀刻和asher操作过程中控制单个腔室和监视条件。内置数据记录器允许用户跟踪和监视所有进程中的所有设置和数据点。此数据可用于识别蚀刻和灰化过程与最终产品质量之间的相关性。高度先进的机器具有双模蚀刻等专有处理技术，允许同时蚀刻和灰化。这允许用户减少整个蚀刻和灰化过程所需的时间,并在所有生产运行过程中保持一致的结果。此外,该工具还提供二维蚀刻功能,允许蚀刻有角度或弯曲的形状。Exelan Flex还具有可移动的热板,可轻松、准确地进行维护和过程控制。此外,热板还具有加热至500 °C的能力。这允许用户实现对高级蚀刻和灰化过程的总体过程控制。最后,该资产具有内置的安全措施,可以防止过温情况并减少停机时间。总体而言,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款功能强大的蚀刻和灰化型号,可为用户提供最高级别的精度和性能。通过利用双模蚀刻、二维蚀刻和可移动热板，用户可以确保在所有生产运行过程中的一致性和全过程控制。此外,安全措施和内置数据记录器还提供了额外的保护和数据跟踪层。
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