二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9240729 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款具有专利等离子技术的高精度等离子蚀刻设备。这款蚀刻器专为广泛的半导体应用而设计，具有卓越的蚀刻质量、高工艺稳定性和出色的均匀性。它提供了一个大的温度范围和支持广泛的操作条件。蚀刻器还可用于聚类应用，最多可容纳八个加工室，允许同时蚀刻元件。Exelan Flex由脉冲等离子体源提供动力,能够对诸如蚀刻、栅极氧化物蚀刻、氮化物蚀刻和高长宽比蚀刻等应用进行卓越的蚀刻工艺控制。其先进的等离子体处理系统利用多维磁场产生均匀的等离子体分布和高度可重复的蚀刻剖面。这就产生了较好的蚀刻深度均匀性和较低的装置驻波。它还有一个集成气体搅拌机和一个自动气体面板，用于动态过程控制。蚀刻器配有板载光学端点检测单元，用于监控蚀刻过程。它还有一个自动控制机器，用于监视和调整蚀刻参数，以实现准确和可重复的蚀刻轮廓。Exelan Flex占地面积小，可以很容易地与其他设备集成，如晶圆装载机、机器人处理程序或蚀刻后检查工具。它采用模块化设计,允许对资产配置进行全面定制,同时还提供了方便的维护和过程传输。总之，ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高度创新的蚀刻器，专为广泛的半导体应用而设计，蚀刻质量优越，工艺稳定性高，均匀性极佳。其先进的等离子体加工技术和高度可重复的蚀刻轮廓使其成为等离子体蚀刻工艺的理想选择。