二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9283189 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先进的蚀刻/灰分半导体加工设备,旨在提供高分辨率、高性能的结果。该系统采用先进、通用的技术,使其能够处理各种基板,从Flash/FTL/eMMC内存的小片到5"或6"晶片。它采用了几种先进的技术来提供卓越的蚀刻和光灰能力以及卓越的零容忍对准能力。ONTRAK 2300 Exelan Flex有两个不同用途的会议厅。上室为经典蚀刻室，旨在最大限度地提高工艺的均匀性和性能。它利用连续波、射频感应和下游等离子体处理，以及低功率和高功率感应耦合等离子体源。下腔有利于125毫米晶片的光灰处理，结果一致且高度均匀。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex因其先进的自动化、内置烤箱和可选的延长时间程序（ETP）模式而易于使用和编程。利用ETP功能,用户可以对一系列按顺序运行的进程进行编程,从而节省时间并改进结果。该单元还拥有一台获得专利的多刀具自动夹紧（MAC）机器,该机器可自动将蚀刻过程配置为晶圆的负载和几何形状,从而确保最佳结果和周期时间。2300 Exelan Flex可靠且用途广泛,提供卓越的性能和效果。它具有多种工艺监测能力，包括对等离子气体的原位监测、牵引点种子的存在和厚度测量。它还包括高速蚀刻的闪光循环算法、精确的气流控制，以及确保精确、可重复结果的温度控制工具。LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款可靠、适应性强的工具,非常适合生产Flash/FTL/eMMC内存或其他尺寸不超过125mm的基板。凭借其先进的技术、自动化和面向性能的设计,ONTRAK 2300 Exelan Flex提供了高产率和重复性的卓越效果。