二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9329258 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款适用于先进电路制造的高性能蚀刻器/asher。该仪器配备了线性驱动晶片级、12位倾斜级和曝光传感器放置扫描仪等多种功能。它设计用于干湿蚀刻工艺，可用于蚀刻各种薄膜结构，从金属互连到2微米不等。此外,2300 Exelan适用于多种工艺,包括：粗加工、创建超浅接头、制造触点、微挖沟和聚酰亚胺蚀刻。2300 Exelan具有几个先进的选项,例如用于控制蚀刻和沉积过程的气体浓度控制设备（GCCS）,以及用于精确控制过程参数的紧凑型射频发生器（CRG）和可编程电源（PPS）。此外，该系统还配备了高分辨率自旋涂层、等离子体源清洁剂和快速离地监测仪，可精确控制化学和关键工艺参数。2300 Exelan还具有高通量运行能力，最多100个晶圆/小时蚀刻容量。通过为每个配方在晶片级放置4到8个晶片,然后微调每个蚀刻配方的每一层的参数以满足客户的特定要求,可以实现此吞吐量。此外，该装置的设计旨在减少与操作员相关的错误，采用直观的HMI（人机界面），简化配方设置，消除繁琐的手动对准和校准过程。2300 Exelan的能力高度通用；除了蚀刻晶片级金属层外，还可以蚀刻非导电材料，如有机层，包括抗蚀剂、玻璃和氮化物层。该机还设计用于高精度应用，气流控制极佳，颗粒负荷低，参数精确、可重复。总体而言,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高性能蚀刻器/asher,旨在为高级电路制造提供卓越的精度和吞吐量。该工具提供多种功能以确保过程可重复性,包括高分辨率旋转涂层、等离子体源清洁器、GCCS和高度直观的HMI。它还设计用于高通量操作,具有高达100个晶圆/小时的蚀刻能力,并且能够蚀刻各种材料类型。