二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9393139 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蚀刻器/asher，设计用于提供平面和大尺寸基板的高速图桉。它在半导体工业中最常用于器件制造。该蚀刻器利用感应耦合射频能量和直接写入电子束蚀刻技术，在一系列材料的沉积和阵列中实现高通量速率。设备还配备了一个微波源和两个用于进行薄氧化物蚀刻的等离子体源。此外，这一系统能够加工高达2.5 μ米厚的铝和高达5 μ米厚的氧化铝。该设备的"正在进行中"和"从卷轴到卷轴"集成提供了高的吞吐量和电源效率,而其检测监视器可用于连续检查完整打印的晶片,而无需掩码和光学成像。此外，Exelan Flex有一个灵活的反应堆设计，可以方便地进入每一个加工室，还有一个可伸缩的顶部装载机，用于坚固和高效的处理。Exelan Flex由操作员友好型基于PC的软件控制,该软件为用户提供了一系列工具,可通过触摸按钮来配置每个流程步骤。除了常规指令和程序执行外，该工具允许手动控制和设置工艺参数，并对每个腔室的工艺状态提供实时监控。它还提供了多种自我诊断功能,可持续监控设备的性能。Exelan Flex还与许多流行的CAD格式兼容,并具有模块化设计,使其能够轻松地集成到现有生产线中并使整个过程自动化。它是一个可靠和用户友好的蚀刻器/asher，非常适合各种基材的图桉，包括硅、玻璃、塑料和金属合金。总体而言,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先进的、经济实惠的蚀刻器/asher,是需要高速制图和沉积的半导体行业的理想选择。